先进的磁控溅射镀膜设备镀膜的最薄厚度是多少?

来源：学生作业帮编辑：搜搜考试网作业帮分类：物理作业时间：2024/06/06 11:36:36

先进的磁控溅射镀膜设备镀膜的最薄厚度是多少?
我需要镀一层氧化铌或者二氧化钛薄膜,理论计算得到的薄膜厚度是6nm,不知道实际中镀出这么薄的厚度是否可行?也就是说能否实现?用德国莱宝的光学镀膜设备.

我不知道您实际使用的是莱宝什么型号的设备,镀6nm是可以实现,但是需要注意控制好挡板的开关,尽量快速.同时保持好膜料的一致性,放低蒸发速率,比如0.15nm/s.真空的控制也很重要,但是现在一般都是采用apc控制,这点不算太难.反正一句话,参与蒸发的工艺条件都尽可能的保持一致,这样可以得到较好的重复性.

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