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电子束的束斑大小怎么影响扫描电子显微镜的分辨率

来源:学生作业帮 编辑:搜搜考试网作业帮 分类:综合作业 时间:2024/06/22 20:27:43
电子束的束斑大小怎么影响扫描电子显微镜的分辨率
是大的分辨率高还是小的?
电子束的束斑大小怎么影响扫描电子显微镜的分辨率
一般来说,束斑小的分辨率高.但束斑小相应的束流也小,转化为成像信号的电子也少,而统计噪音是固定的.当信号值低于噪音的3倍时,将无法识别信号代表的信息.信噪比是限制成像分辨率的一个重要基本因素.
特殊情况也有大束斑分辨率高的,例如100倍,用最大束斑,就比最小束斑分辨率高.因为在相同的扫描区域,最小的束斑扫描步距太大,很多地方漏扫了,看起来图像边缘轮廓反而很差.
因此束斑尺寸和放大倍数协调才会获得最佳分辨率.