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半导体光刻中的pitch是什么意思

来源:学生作业帮 编辑:搜搜考试网作业帮 分类:英语作业 时间:2024/04/28 09:36:31
半导体光刻中的pitch是什么意思
半导体光刻中的pitch是什么意思
pitch=line+space
minmum line or space determines photo & etch's capability. Different pitch, photo characteristic is different, different pitch, etch bais is different.